安科瑞(ruì) 陳聰

摘要：在國家鼓勵(lì)半(bàn)導體(tǐ)材料(liào)國(guó)產化的政策(cè)導向(xiàng)下，本土半導體(tǐ)材(cái)料(liào)廠商不斷提升半(bàn)導體產品技(jì)術(shù)水平和(hé)研發能力，逐(zhú)漸打破(pò)了國外半導體廠商的(dí)壟(lǒng)斷格局(jú)，推進(jìn)中國半導體材(cái)料(liào)國(guó)產化(huà)進程，促進中(zhōng)國半導(dǎo)體行(háng)業的發展。半(bàn)導體(tǐ)產(chǎn)品的(dí)製(zhì)造(zào)使(shǐ)用(yòng)到(dào)的(dí)設備如(rú)單晶爐(lú)，多晶爐等都是惡性(xìng)的諧(xié)波源，這(zhè)些設備(bèi)產(chǎn)生(shēng)的諧波(bō)會(huì)汙染電力(lì)係(xì)統(tǒng)，影響(xiǎng)係統(tǒng)的供電(diàn)質(zhì)量(liáng)。因此(cǐ)這些生產半導(dǎo)體(tǐ)的(dí)電(diàn)子(zǐ)廠房需(xū)要(yào)一套(tào)係(xì)統解決(jué)方(fāng)案，有(yǒu)效解(jiě)決(jué)其產(chǎn)生的電能質量問(wèn)題。

關鍵詞(cí)：半導體(tǐ)行(háng)業；電(diàn)能質量；電能質(zhì)量監測(cè)與治(zhì)理(lǐ)；係統解(jiě)決(jué)方案

1引言(yán)

半(bàn)導體是許多(duō)工業整機設(shè)備(bèi)的(dí)核心(xīn)，普(pǔ)遍(biàn)應(yīng)用(yòng)於計(jì)算機(jī)，通(tōng)信，消(xiāo)費(fèi)電(diàn)子，汽車(chē)，工業/醫療(liáo)，軍(jūn)事/政府(fǔ)等核(hé)心領(lǐng)域(yù)。為(wéi)鼓勵(lì)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業發(fā)展(zhǎn)，突(tū)破產業(yè)瓶頸，我國(guó)出台等多項(xiàng)政(zhèng)策支(zhī)持半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)行業發展，為半導體材(cái)料(liào)產業(yè)的發(fā)展(zhǎn)提(tí)供良好(hǎo)的(dí)發展(zhǎn)環境。半導(dǎo)體(tǐ)等電(diàn)子廠(chǎng)房(fáng)相較(jiào)於其他工業類(lèi)廠(chǎng)房，主要特殊(shū)之處(chǔ)在於(yú)其(qí)潔(jié)淨(jìng)等(děng)級(jí)要求(qiú)高，光刻(kè)機，等離子注入(rù)機等(děng)設(shè)備的(dí)電(diàn)源(yuán)質(zhì)量和電壓(yā)等級要(yào)求高(gāo)。生產(chǎn)半導(dǎo)體的廠(chǎng)房(fáng)使(shǐ)用到的大部(bù)分電子(zǐ)產(chǎn)品采用(yòng)了(liǎo)非綫性(xìng)的(dí)可(kě)控變流裝置(zhì)，變(biàn)頻調(tiáo)速(sù)裝置(zhì)等(děng)負(fù)荷，其(qí)產(chǎn)生的諧波問(wèn)題(tí)導(dǎo)致了公用電網(wǎng)電能(néng)品(pǐn)質降低(dī)。若(ruò)不(bù)治(zhì)理，不僅會(huì)影響設備的(dí)正常運(yùn)行(háng)，嚴(yán)重時(shí)甚至會威脅患者的生命安全(quán)，因此對半導(dǎo)體(tǐ)廠房供配電係統電能質量治理的深入(rù)分析研究勢(shì)在必(bì)行(háng)。

2諧波(bō)源(yuán)分(fēn)析

半導體芯(xīn)片(piàn)加工(gōng)電子廠(chǎng)房(fáng)生(shēng)產製造(zào)配電(diàn)係統,主(zhǔ)要諧(xié)波(bō)負載(zǎi)為主要諧波源為單(dān)晶爐(lú)，多晶(jīng)爐，各類設(shè)備，照(zhào)明及變(biàn)頻(pín)通(tōng)風設備，計(jì)算(suàn)機(jī)及UPS等(děng)。

目前大(dà)多數單(dān)晶爐(lú)是(shì)采用中頻感應(yīng)電源加(jiā)熱的工作(zuò)方(fāng)式，中頻電源主電路包括整流(liú)電路，濾波(bō)電(diàn)路，單相(xiāng)橋(qiáo)式逆變電(diàn)路(lù)和並聯諧振(zhèn)電路。其中整流電(diàn)路(lù)采用三相全控(kòng)橋(qiáo)式(shì)整(zhěng)流(liú)電路(lù)，作用是(shì)將(jiāng)三(sān)相(xiāng)50Hz工頻交流(liú)電壓整流(liú)成波(bō)動(dòng)的直(zhí)流(liú)電壓(yā)。單晶爐(lú)的(dí)中頻電(diàn)源產(chǎn)生(shēng)諧(xié)波電流(liú)僅含(hán)(k=1,2,3…)次(cì)。

單晶爐，多(duō)晶爐，IC測(cè)試(shì)台(tái)，PLC控製(zhì)的機(jī)械(xiè)手，芯片製造(zào)用(yòng)的晶圓機(jī)或變(biàn)頻(pín)控製的(dí)半導體機(jī)台都會(huì)產生大(dà)量的諧(xié)波，他(tā)們不(bù)但會造(zào)成機(jī)台設(shè)備(bèi)自(zì)身(shēn)的(dí)壞機現象(xiàng)，回(huí)流進電網(wǎng)的(dí)諧波(bō)電流還(huán)會引起其它回(huí)路的(dí)發熱，電子開關誤動作(zuò)，供(gōng)電(diàn)電壓不(bù)穩，甚至(zhì)生產綫(xiàn)停綫，半(bàn)成(chéng)品的報廢，其損(sǔn)失不可(kě)謂不(bù)大(dà)。而(ér)且(qiě)高能設備如(rú)：外(wài)延(yán)設備，擴散設備，離子注(zhù)入設備的(dí)頻(pín)繁加(jiā)卸載，更(gēng)加重(zhòng)了用(yòng)電環(huán)境(jìng)的(dí)惡化(huà)。

3諧波(bō)影(yǐng)響

3.1對(duì)電(diàn)網的(dí)影響(xiǎng)

導致電網(wǎng)功(gōng)率消耗(hào)變(biàn)大(dà)，設備(bèi)試用時(shí)間降(jiàng)低，接地(dì)保(bǎo)護(hù)功能和遙(yáo)控(kòng)功能出現異(yì)常，綫(xiàn)路(lù)與設備(bèi)熱量(liáng)變大等，特(tè)別是(shì)三(sān)次諧波導致非常(cháng)大的中性綫電流，造(zào)成(chéng)配(pèi)電(diàn)變壓器零(líng)綫電(diàn)流大(dà)於(yú)相(xiāng)綫電(diàn)流數(shù)值，致(zhì)使設(shè)備不能(néng)平穩運行(háng)。因(yīn)此(cǐ)，諧波還(huán)能引發(fā)造(zào)成(chéng)諧振在電網(wǎng)中發生，則(zé)會(huì)將(jiāng)運(yùn)行(háng)正常的(dí)供電(diàn)停止(zhǐ)，情況(kuàng)嚴重，電網解(jiě)裂(liè)等情況(kuàng)發生。諧振造(zào)成(chéng)變(biàn)電站局(jú)部並聯與串聯，致(zhì)使(shǐ)電壓互(hù)感(gǎn)器(qì)設施損壞；造(zào)成(chéng)變電站(zhàn)係(xì)統(tǒng)當中(zhōng)的(dí)設備(bèi)與元件生(shēng)成附加(jiā)的(dí)諧波(bō)損耗(hào)，導致電力(lì)變壓器，電力電纜，電動(dòng)機等設備(bèi)溫(wēn)度(dù)上(shàng)升(shēng)，電容(róng)器(qì)損壞，進而促進了(liǎo)絕(jué)緣材(cái)料(liào)發生(shēng)質變(biàn)的速率。

3.2對用(yòng)電安全(quán)造(zào)成的影響(xiǎng)

一(yī)，失火(huǒ)造成災害(hài)。有些意外失(shī)火狀況(kuàng)的(dí)起因多數(shù)跟電力諧(xié)波有(yǒu)聯(lián)係(xì)。現(xiàn)階(jiē)段(duàn)節(jié)能燈，調光器設(shè)施(shī)中關開電源很普及，開(kāi)始(shǐ)為(wéi)了(liǎo)節(jié)約能源，之後這些設(shè)施卻(què)產生了諧(xié)波源，導致電(diàn)網的(dí)危險係數增(zēng)加,中性綫電(diàn)流(liú)變大，嚴重的超出(chū)綫(xiàn)電流，造(zào)成失(shī)火(huǒ)的潛在(zài)安(ān)全(quán)風險。二，有(yǒu)關(guān)設備(bèi)損(sǔn)壞(huài)。電能(néng)質量(liáng)會影(yǐng)響繼(jì)電保(bǎo)護，計算機係統與精(jīng)細(xì)儀器和機(jī)械等，造成其(qí)不能平穩運(yùn)轉和(hé)操控，減少設施利用期(qī)限，進而導(dǎo)致繼(jì)電(diàn)保護(hù)錯(cuò)誤(wù)操(cāo)作出(chū)現(xiàn)可避免的意(yì)外損失(shī)，造(zào)成(chéng)不同情(qíng)況的幹擾。三(sān)，通(tōng)信擾亂。其(qí)電網擾(rǎo)亂的(dí)主(zhǔ)要(yào)因素(sù)為(wéi)發生(shēng)諧(xié)波，通過(guò)基本靜電感應和電(diàn)磁感應(yīng)，經過(guò)通信綫路導(dǎo)致聲頻混(hùn)亂。其(qí)諧(xié)波(bō)頻率(shuài)提升，則(zé)會有雜(zá)音問題，通(tōng)過(guò)通(tōng)信綫路上(shàng)導(dǎo)致(zhì)音(yīn)頻(pín)混(hùn)亂。

3.3 諧波對(duì)於(yú)電氣(qì)設(shè)備產(chǎn)生的(dí)影(yǐng)響

一(yī)，電力(lì)電容器(qì)產生的(dí)影響。而(ér)電容器在(zài)電網無(wú)功配置容(róng)量中占有比(bǐ)重很大，其中(zhōng)少數(shù)電容器安(ān)排隻參照(zhào)無功(gōng)補償量，不(bù)會參(cān)照(zhào)裝置點電能(néng)質量(liáng)現實(shí)存(cún)在的汙(wū)染狀(zhuàng)況(kuàng)。惡(è)劣(liè)情(qíng)況(kuàng)下會出(chū)現(xiàn)串(chuàn)聯(lián)並聯(lián)諧振，造成電(diàn)容器諧波過電壓與(yǔ)過電流，導致電(diàn)容器開裂(liè)；二，變(biàn)壓器產生(shēng)影響(xiǎng)。諧波電流在(zài)變(biàn)壓器中發(fā)生(shēng)，致使銅(tóng)耗提高，造(zào)成局部過(guò)熱(rè)，震蕩，聲(shēng)音變大，繞組(zǔ)附(fù)加(jiā)過熱(rè)等；三(sān)，同(tóng)步發電機產生的影響。在係(xì)統(tǒng)裏麵的(dí)同(tóng)步發電機中流(liú)入負序(xù)電流(liú)與(yǔ)諧波電(diàn)流，造成多(duō)餘的損耗，導(dǎo)致發(fā)電機局部(bù)過熱(rè)，絕緣力度(dù)降(jiàng)低(dī)。第四，自動(dòng)控製器產(chǎn)生(shēng)的(dí)影(yǐng)響。現如今，數字控製技術已投入到更加廣泛(fàn)領域(yù)，諸多(duō)精細負載針對受電(diàn)電能(néng)質量指(zhǐ)標(biāo)有更(gēng)高要求。基(jī)於(yú)此(cǐ)，電能(néng)質(zhì)量(liáng)被沾上(shàng)髒(zàng)物(wù)則(zé)會導(dǎo)致(zhì)設(shè)備的監(jiān)測模塊中引發畸變量，擾亂(luàn)一(yī)般(bān)分(fēn)解計(jì)算，造(zào)成出(chū)錯的(dí)輸出結果的損(sǔn)害(hài)。

4電(diàn)子半(bàn)導體(tǐ)行業(yè)電(diàn)能質(zhì)量監(jiān)測和(hé)治理係(xì)統解決方案

4.1行(háng)業特(tè)征(zhēng)

l 對(duì)電(diàn)能質(zhì)量(liáng)要(yào)求高(gāo):

l 負(fù)載中含(hán)有(yǒu)多種諧波(bō)源，配電諧(xié)波含量(liáng)較高

l 諧波主要以(yǐ)6N土1次諧波(bō)為(wéi)主

l 存(cún)在(zài)大量變頻(pín)設(shè)備，變頻(pín)設備之間存在相(xiāng)互諧振(zhèn)風(fēng)險.

4.2解決方(fāng)案

半導體芯(xīn)片(piàn)製造(zào)業(yè)在國(guó)民經濟(jì)中起(qǐ)著*的作用(yòng)，相(xiāng)關企(qǐ)業(yè)的規模(mó)也(yě)越(yuè)來(lái)越大(dà)，其供(gōng)配(pèi)電(diàn)係統穩定，可靠的運(yùn)維不(bù)僅是其安全生(shēng)產的(dí)基本(běn)保證，還關係到(dào)產品(pǐn)質(zhì)量(liáng)和(hé)生(shēng)產(chǎn)的(dí)順利進(jìn)行(háng)。集成電路(lù)芯(xīn)片製(zhì)造(zào)關鍵(jiàn)設備多，工(gōng)位器(qì)具多，工(gōng)藝步驟繁多(duō)復雜(zá)。除(chú)供(gōng)配(pèi)電係(xì)統外，還需傳送係(xì)統(tǒng)，超(chāo)純水淨化係統，真空係統(tǒng)，氣(qì)冷(lěng)風冷(lěng)係統，特殊(shū)氣(qì)體分配(pèi)係(xì)統(tǒng)來保(bǎo)證生產過(guò)程(chéng)的順利實(shí)施以(yǐ)及(jí)關(guān)鍵(jiàn)設(shè)備的安全運(yùn)行。由於整(zhěng)個(gè)工廠的(dí)生產(chǎn)條件通過電能供給(gěi)來實現，因此半(bàn)導體芯片製造對供(gōng)電質(zhì)量要(yào)求特別高。

安科(kē)瑞電(diàn)氣提出的電能質(zhì)量監測與治理係(xì)統解決方(fāng)案(àn)可滿足電(diàn)力監(jiān)控(kòng)管(guǎn)理，運維(wéi)與電(diàn)能(néng)質量(liáng)治(zhì)理等(děng)方麵的需求(qiú)，致力於(yú)為(wéi)高(gāo)速(sù)公(gōng)路行業(yè)用(yòng)戶提(tí)供(gōng)一(yī)站式的(dí)整(zhěng)體解(jiě)決方案(àn)，從產(chǎn)品(pǐn)，係(xì)統，服(fú)務等(děng)不同(tóng)方麵(miàn)來(lái)滿足用(yòng)戶的(dí)需要(yào)，為用戶(hù)創造(zào)價(jià)值(zhí)。

 4.3方(fāng)案(àn)特點

l 電能(néng)質(zhì)量監(jiān)測與(yǔ)治(zhì)理係(xì)統即(jí)可(kě)通(tōng)過本地設(shè)備為用戶提(tí)供電(diàn)能(néng)質量監測，治(zhì)理(lǐ)與(yǔ)設備(bèi)運維等功能，亦可(kě)通(tōng)過(guò)接(jiē)入(rù)AcrelEMS-SEMI電站(zhàn)廠房能效(xiào)管理(lǐ)平(píng)台，為用(yòng)戶提(tí)供遠程(chéng)在(zài)綫服務(wù)；

l 符合GB/T17626.30-2012中準(zhǔn)確度測(cè)量(liáng)方法(fǎ)，適用(yòng)於要(yào)求準(zhǔn)確(què)測量電能(néng)質(zhì)量(liáng)指標參(cān)數的(dí)場(cháng)合；

l 專業化的(dí)電能(néng)質量(liáng)監測：電(diàn)能(néng)質量實時在(zài)綫監測，測量(liáng)精度(dù)高(gāo)，測(cè)得(dé)準，符合IEC61000-4-30標準；

l 電(diàn)能質(zhì)量(liáng)監測(cè)與(yǔ)治(zhì)理(lǐ)裝(zhuāng)置(zhì)信(xìn)息互聯(lián)，通過統一平(píng)台(tái)管(guǎn)理(lǐ)，方(fāng)便用戶(hù)同時監測電(diàn)網電(diàn)能(néng)質(zhì)量(liáng)以(yǐ)及(jí)治(zhì)理(lǐ)數據；

l 采(cǎi)用三電平電力(lì)電子驅(qū)動(dòng)器件，通(tōng)過(guò)更(gēng)多的(dí)電(diàn)平輸出更高品(pǐn)質的(dí)治(zhì)理(lǐ)波形。

4.4方(fāng)案(àn)效果(guǒ)

l 對電網電(diàn)能質(zhì)量高(gāo)精度(dù)的實(shí)時監控(kòng)，包(bāo)括(kuò)電壓偏(piān)差，頻率(shuài)偏差，諧波(bō)，電(diàn)壓波動(dòng)，閃變(biàn)，三相電壓不平衡等。同(tóng)時可對故(gù)障(zhàng)事(shì)件進(jìn)行記(jì)錄(lù)，對監測點負荷(hé)曲(qū)綫及電(diàn)壓電(diàn)流(liú)，電(diàn)壓偏差(chà)，不(bù)平衡(héng)度，閃變(biàn)等進(jìn)行趨勢分析，用戶可(kě)以(yǐ)通(tōng)過係統查(chá)看(kàn)發生(shēng)告(gào)警的(dí)事件波(bō)形，趨(qū)勢(shì)分(fēn)析(xī)，亦可根據監測(cè)點的(dí)電能質量(liáng)情況(kuàng)統計分析(xī)生成電(diàn)能質(zhì)量(liáng)診斷(duàn)報(bào)告。

l 通過(guò)集中補償(cháng)+就地補(bǔ)償的治(zhì)理策略，補(bǔ)償整(zhěng)個(gè)數(shù)據中心的無(wú)功和(hé)諧波，提(tí)高數據中心內(nèi)係統電(diàn)能質量，用(yòng)電(diàn)設備(bèi)供(gōng)電效(xiào)率，大幅(fú)度(dù)降低設備故障率，達(dá)到(dào)數據中心(xīn)內自動化設(shè)備對(duì)電(diàn)源質量(liáng)的要(yào)求，可有效(xiào)解(jiě)決諧(xié)波的(dí)幹擾及誤(wù)跳(tiào)閘(zhá)問(wèn)題(tí)。

l 係統(tǒng)提供多維度(dù)的用電指標統計(jì)與(yǔ)電能(néng)數(shù)據(jù)分析工具(jù)，為配電係(xì)統運行(háng)管理優化(huà)和節能損(sǔn)耗(hào)提供指導(dǎo)。

5安科瑞電(diàn)能質(zhì)量監(jiān)測(cè)與治理(lǐ)係統(tǒng)產品選(xuǎn)型

5.1集(jí)中(zhōng)治理

電(diàn)子廠房(fáng)內(nèi)會使(shǐ)用到如風機，空(kōng)調(tiáo)等等(děng)電(diàn)器，這些(xiē)電(diàn)器分布(bù)較(jiào)為(wéi)分散，且(qiě)單(dān)一的設(shè)備產(chǎn)生的諧波(bō)量較少，且為確(què)保無功(gōng)功率因(yīn)數達到國標要(yào)求(qiú)值，避(bì)免(miǎn)罰(fá)款(kuǎn)，在配(pèi)電房(fáng)處(chǔ)對這些負載產(chǎn)生的電(diàn)能(néng)質(zhì)量(liáng)問題(tí)進(jìn)行集中治(zhì)理(lǐ)，同時(shí)也可對(duì)整個(gè)低壓供(gōng)配電係統(tǒng)進行電(diàn)能質(zhì)量在(zài)綫監測，其(qí)中包含(hán)諧波分析(xī)，波(bō)形(xíng)采樣(yàng)，電壓(yā)暫(zàn)降/暫升/中斷，閃(shǎn)變監(jiān)測等，其集中治理(lǐ)的產品(pǐn)選(xuǎn)型(xíng)見表(biǎo)1。

表1電能(néng)質量(liáng)監(jiān)測及集中治理(lǐ)產(chǎn)品選型表

5.2就(jiù)地治理

電子廠房(fáng)在(zài)生產半導體器(qì)件(jiàn)的過(guò)程中(zhōng)需(xū)要(yào)使用(yòng)到可(kě)控變流裝置，變頻調速裝置等負荷(hé)，這些(xiē)設備(bèi)在運行(háng)過程中會產生(shēng)大量的(dí)諧(xié)波(bō)汙(wū)染電網，如(rú)果不(bù)從源頭(tóu)治(zhì)理會(huì)影響到(dào)電壓(yā)的畸(jī)變(biàn)率，會(huì)造(zào)成(chéng)其(qí)他負載(zǎi)的損(sǔn)壞。針(zhēn)對(duì)以(yǐ)上(shàng)負載(zǎi)情況(kuàng)，建(jiàn)議在(zài)各重(zhòng)要設(shè)備(bèi)的配電(diàn)箱(xiāng)增(zēng)加(jiā)電能(néng)質量補償(cháng)設備進(jìn)行(háng)就地(dì)治(zhì)理，達到(dào)終端治理(lǐ)諧波(bō)的目的，避(bì)免(miǎn)諧波(bō)影響到(dào)整(zhěng)個配電(diàn)係統和其他用電(diàn)設(shè)備(bèi)。

表(biǎo)2 就地(dì)治理的產品選型(xíng)

5.3電(diàn)能質量監(jiān)測與(yǔ)治(zhì)理係(xì)統                                             

（1）平台拓(tuò)撲

電(diàn)能(néng)質量監(jiān)測(cè)與治(zhì)理(lǐ)係統(tǒng)係(xì)統平台(tái)主要(yào)由電能(néng)質(zhì)量(liáng)治理設備(bèi)，物(wù)理網(wǎng)關，服務器(qì)及服(fú)務(wù)終端四部分組(zǔ)成，其(qí)中電(diàn)能質量治理設備(bèi)作(zuò)為(wéi)基(jī)礎實現對數(shù)據采集(jí)與(yǔ)電能質量補償等(děng)，物理(lǐ)網關實現設備與(yǔ)服務(wù)器(qì)間(jiān)的數據傳輸(shū)以(yǐ)及(jí)對(duì)設(shè)備進(jìn)行策略功能(néng)分(fēn)配(pèi)，數據經由(yóu)服(fú)務器以服(fú)務終端為媒介為(wéi)用(yòng)戶(hù)提(tí)供可視(shì)化展示。

（2）平台(tái)展(zhǎn)示

電能質(zhì)量(liáng)監(jiān)測與治理係(xì)統除(chú)作為本地終端為用(yòng)戶(hù)提(tí)供電能(néng)質量(liáng)監(jiān)測(cè)，治理與(yǔ)設(shè)備(bèi)運(yùn)維等功能(néng)外，亦可(kě)通(tōng)過接(jiē)入AcrelEMS企(qǐ)業(yè)微電(diàn)網能(néng)效(xiào)管(guǎn)理平台，為(wéi)用戶(hù)提(tí)供遠(yuǎn)程(chéng)在綫服(fú)務。

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6江(jiāng)蘇(sū)某電子廠(chǎng)房(fáng)項(xiàng)目(mù)電(diàn)能(néng)質量治理(lǐ)項目案(àn)例

6.1項目背景

江蘇某(mǒu)電(diàn)子(zǐ)廠(chǎng)房(fáng)內(nèi)除生(shēng)產(chǎn)半導(dǎo)體的(dí)核(hé)心(xīn)器件(jiàn)外，還(huán)有(yǒu)傳送係(xì)統，水淨化(huà)係(xì)統(tǒng)，風(fēng)冷係(xì)統(tǒng)，空(kōng)調係(xì)統等，對(duì)電(diàn)能質(zhì)量要(yào)求非(fēi)常高。這些(xiē)設(shè)備皆(jiē)屬於(yú)非(fēi)綫(xiàn)性(xìng)負載，在(zài)使(shǐ)用(yòng)過程(chéng)中會產生大(dà)量(liáng)諧波(bō)並(bìng)注入(rù)係(xì)統中;如果不進行(háng)諧波治理，對電網造(zào)成嚴重的汙染，也影響電子(zǐ)廠(chǎng)房(fáng)中其他(tā)敏(mǐn)感設(shè)備的(dí)誤(wù)動作，中斷甚至癱癱(huàn)，降(jiàng)低了配電(diàn)係統的安(ān)全性，可靠性(xìng)。

6.2治理(lǐ)方案

根(gēn)據(jù)以往測量(liáng)經驗(yàn)進(jìn)行諧(xié)波(bō)分析與(yǔ)估算(suàn)，諧波(bō)主(zhǔ)要由(yóu)單(dān)晶(jīng)爐(lú)，晶(jīng)圓(yuán)機和(hé)一(yī)些非(fēi)綫(xiàn)性負(fù)載(zǎi)產生(shēng)，供電係(xì)統(tǒng)由(yóu)2台1200kVA變壓器，采用(yòng)集(jí)中治理+就地治理的(dí)方案。

集中(zhōng)治(zhì)理：電(diàn)子(zǐ)廠房(fáng)內空(kōng)調(tiáo)，風機設(shè)備(bèi)的分布很廣(guǎng)，因(yīn)此(cǐ)在每(měi)台變壓器(qì)下(xià)加(jiā)裝400A有源(yuán)諧(xié)波(bō)治理(lǐ)係統裝置，由兩(liǎng)台150A模塊和(hé)一台100A模塊(kuài)並(bìng)機(jī)實(shí)現(xiàn)，型號為整(zhěng)櫃式AnSin400-G Ⅰ型，自動跟蹤補(bǔ)償(cháng)負載(zǎi)產(chǎn)生的諧波(bō)電流，保(bǎo)證供(gōng)電係統安全可(kě)靠運行。

就地治(zhì)理：單晶爐是(shì)該(gāi)中心惡性(xìng)的(dí)負(fù)載(zǎi)，因此需要(yào)在配電末(mò)端對其產生的諧(xié)波電流(liú)進行(háng)治(zhì)理，避(bì)免(miǎn)幹(gān)擾其他(tā)用(yòng)電(diàn)設備(bèi)，因此在(zài)使(shǐ)用單(dān)晶(jīng)爐的配電(diàn)間安(ān)裝壁掛(guà)式(shì)ANAPF600-380/BBL有源(yuán)電(diàn)力(lì)濾波(bō)器，就(jiù)地治理單晶爐產生的諧波(bō)汙染。

6.3治理效果

選取該(gāi)廠(chǎng)房單晶爐出綫(xiàn)端配(pèi)電箱，對(duì)其(qí)前(qián)後(hòu)波(bō)形數據進行(háng)對比(bǐ)，通過裝設壁掛(guà)式ANAPF600-380/BBL有(yǒu)源電力(lì)濾(lǜ)波(bō)器裝(zhuāng)置後(hòu)，電(diàn)壓(yā)畸變率(shuài)以(yǐ)A相為(wéi)例(lì)從(cóng)10.45%降(jiàng)值(zhí)5.58%，電流(liú)畸變率(shuài)從(cóng)28.94%降值(zhí)5.67%，提(tí)升了電網波形質量(liáng)，具(jù)體(tǐ)效果(guǒ)及(jí)參數如下(xià)表(biǎo)所(suǒ)示。

表(biǎo)3 治(zhì)理(lǐ)前(qián)後波形數(shù)據對(duì)比

7 結論(lùn)

半(bàn)導體材料技術在國(guó)內的(dí)發展(zhǎn)促(cù)使很(hěn)多(duō)半導(dǎo)體加工設(shè)備(bèi)投(tóu)入使(shǐ)用，這(zhè)些(xiē)設(shè)備(bèi)普遍(biàn)采用(yòng)了(liǎo)電力(lì)電子變流和(hé)控(kòng)製(zhì)器件。這(zhè)些(xiē)設(shè)備在工作的(dí)同(tóng)時也會(huì)產生(shēng)大量(liáng)的(dí)諧波，它們不但會造成機台設備自身的(dí)壞機現象(xiàng)，回(huí)流(liú)進(jìn)電網的諧(xié)波(bō)電流還會引(yǐn)起(qǐ)其它(tā)回路的(dí)發(fā)熱(rè)，電子開關誤(wù)動作，供電電(diàn)壓不(bù)穩，甚至(zhì)引(yǐn)起(qǐ)生產(chǎn)綫停(tíng)綫，半成品的報(bào)廢(fèi)。因此，安科瑞(ruì)為電子廠(chǎng)房行業(yè)提供了(liǎo)一套(tào)完(wán)整(zhěng)的(dí)電能治(zhì)理(lǐ)監測與(yǔ)治理(lǐ)的(dí)係統解決(jué)方(fāng)案(àn)，使電子(zǐ)廠(chǎng)房的(dí)電(diàn)能質量問(wèn)題(tí)得到了有(yǒu)效的治(zhì)理(lǐ)。從(cóng)成(chéng)本(běn)，性(xìng)能，可(kě)靠性等角(jiǎo)度綜(zōng)合考慮，該方法具(jù)有較高(gāo)的性價比。